• 低溫泵與HE 氣壓縮機
  •  
產品名稱:ULVAC CRYO-U12HSP濺射鍍膜專用低溫泵
產品簡介:
特征 氬氣排氣量約為標準機型(U12H)的2倍。 氫氣排氣速度約為標準機型(U12H)的1.5倍。 有效延長了再生間隔時間,提高了裝置運轉率,增強了成膜品質。
  • 產品詳情

標準規格

排氣速度(20℃)氮氣L/s4,100
氫氣6,000
氬氣3,400
9,500
極限壓力Pa(Torr)10-7(10-9)
最大流量氬氣Pa?L/s(Torr?L/s)2.0×103(15.0)
氫氣4.1×102(3.1)
排氣量氬氣Pa?L(Torr?L)4.4×108(3.3×106)
氫氣1.6×106(1.2×104)
冷卻下降時間min(Hz)90/80(50/60)
吸氣口法蘭UVG-300,10BANSI
壓縮機裝置C30VR
重量Kg42

*保養周期:16,000小時




日韩系列一中文字暮,亚洲精品136p,小鸟酱系列,波多野结衣观看网址